SiCパワーデバイスの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。
インプラ用
マスクの形成
液体ソース®CVD装置
マスクのエッチング
ICPエッチング装置
イオンインプラ+
マスク除去
SiO2膜の形成
液体ソース®CVD装置
SiO2のマスク加工
ICPエッチング装置
SiCのトレンチ加工
ICPエッチング装置
熱酸化+ゲート電極の形成
ゲート絶縁膜の形成
ALD装置
SiO2の加工
ICPエッチング装置
配線前のドライ洗浄
プラズマクリーナー