サムコはLEDチップの製造工程に使用されるプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を中心に一貫製造プロセスを提供する「One Stop Solution」を提唱しています。各工程に最適なLED製造装置を取り揃え、多数の納入実績を誇っています。
サファイアの表面加工
（PSS加工）
ICPエッチング装置
p-GaN層・活性層・
n-GaN層形成
n-GaN層表面出し
ICPエッチング装置
電極形成
素子分離加工
ICPエッチング装置
保護膜形成
プラズマCVD装置
コンタクトホール加工
RIE装置
ワイヤーボンディング前の洗浄
プラズマクリーナー
モールディング、
LEDの完成