GaAs高周波デバイスの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。
エピタキシャル成長
インプラ用マスク成膜
プラズマCVD装置
フォトリソグラフィー
マスクのエッチング
ICPエッチング装置
イオンの注入
マスクの除去
プラズマクリーナー
フォトリソグラフィー
リセスエッチング
ICPエッチング装置
電極形成
保護膜の成膜
プラズマCVD装置
フォトリソグラフィー
コンタクトホール形成
ICPエッチング装置
ウエハを
支持体に貼付け
フォトリソグラフィー
ビアホール加工
ICPエッチング装置
電極形成
プラズマダイシング
ICPエッチング装置
パッケージング
プラズマクリーナー
スマートフォン用
高周波デバイス