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半導体レーザの製造工程、および各工程で使用するサムコの装置をご紹介します。
結晶成長
マスク成膜
プラズマCVD装置
マスク加工
ICPエッチング装置
RIE装置
グレーティング加工
リッジ加工
結晶成長 埋め込み
保護膜形成
コンタクト形成
電極形成
スクライビング
端面への反射膜の成膜
ブレーキング
ワイヤーボンディング前の洗浄
プラズマクリーナー
パッケージング前の洗浄
半導体レーザ
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