論文
車載用測距センサ、プロジェクタ用
レーザーの角度を変えて空間を走査するデバイス。トップダウン作製手法を用いて厚いミラー面に細線化したシリコンナノワイヤを一体形成することで高信頼化。ミラーの小型化およびアレイ配置により性能を向上させます。
《ご提供》
京都大学 ナノ・マイクロシステム工学研究室 田畑教授、土屋准教授
《使用施設》
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 MEMS用高速シリコンエッチング装置 Samco RIE-800iPB-KUにて加工
※ナノハブは、内外の研究者の研究を支援する役割を持った開かれた施設として運営されています。