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逆メサ形状へのSiN成膜
大面積バッチ処理用プラズマCVD装置にて、逆メサ形…
使用している製品
PD-3800L
SiN成膜の応力再現性
量産用プラズマCVD装置でのSiN成膜特性。 長期…
PD-2201LC
SiN成膜の応力制御性
量産用プラズマCVD装置でのSiN成膜特性結果。 …
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