製品情報InPのエッチング

InPレーザのリッジ形成

幅1.８μm、深さ2.5μmの異方性かつ裾引きが小…

InPレーザの回折格子形成

マスク幅100nm、深さ75nmの回折格子(グレー…

InPのピラー形成

直径0.7μm、深さ4μmの、垂直で側壁荒れのない…