電漿清洗
Samco的電漿清洗機是利用平行板系統清除試片表面有機及無機污染. 反應腔可依使用者的需求安裝多層電極棚. 有彈性的電極棚組合可支援從研究到量產的各式各樣的批次製程.
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電漿清洗機 PC-1100
適用於大尺寸基板
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電漿清洗機 PC-300
精簡電漿清洗機
特色
片及世界各地的多數R&D及量產厰都使用Samco可靠的電漿清洗機. 我們的電漿清洗機的占地面積下，而且可以使用多層電極棚進行批次處理試片/晶圓. PC-300及PC-1100是桌上型的電漿清洗機. 此系統可以用在清除試片表面的有機及無機的污染, 例如塑膠封裝, LCD基板, 多芯片組件, 混合集成電路. 其他應用包含光阻灰化, 印表機噴頭墨的去除, 表面活性化及可濕性改善. PC-300及PC-1100是完全自動化系統，並具備人性化的觸控界面. 反應腔可讓使用者安裝多層試片電極棚, 且高度彈性的組合支援從小電極原件到大基板的廣汎的批次製程·.