Aqua Plasma (水蒸氣電漿）
Aqua Plasma®清洗機主要使用水蒸氣(H₂O)處理. 此系統可以安全又環保地進行表面處理，例如金屬的氧化還原, 有機污染物的清除, 樹脂粘合及超親水化.
-
Aqua Plasma® (水蒸氣電漿)清洗機 AQ-2000
適用於大尺寸基板
特色
AQ-系列電漿清洗機是專爲利用H2O作爲製程氣體而特別設計的Aqua Plasma(水蒸氣電漿)處理系統.
此系統可以處理微流體加工的聚合物表面處理及粘合. 也可以解決一般使用O2及Ar電漿處理金屬表面時的製程問題, 提供不氧化及沒有污染的金屬表面處理. 這個獨特的製程適合用於微電子封裝的銅/銀的IC導線架及電極清洗.