Aqua Plasma (水蒸氣電漿）
Aqua Plasma®清洗機主要使用水蒸氣(H₂O)處理. 此系統可以安全又環保地進行表面處理，例如金屬的氧化還原, 有機污染物的清除, 樹脂粘合及超親水化.
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Aqua Plasma® (水蒸氣電漿)清洗機 AQ-2000
適用於大尺寸基板
電漿清洗
Samco的電漿清洗機是利用平行板系統清除試片表面有機及無機污染. 反應腔可依使用者的需求安裝多層電極棚. 有彈性的電極棚組合可支援從研究到量產的各式各樣的批次製程.
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電漿清洗機 PC-1100
適用於大尺寸基板
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電漿清洗機 PC-300
精簡電漿清洗機
紫外光臭氧清洗
Samco的紫外光臭氧清洗機是使用紫外光, 臭氧及加熱工作台面的獨特組合，溫和又有效地從多種基板上去除有機物. 基板包含矽, 玻璃, 化合物半導體(GaN, SiC, GaAs, and InP), 藍寶石, 陶瓷等. 本公司的產品線有精小桌上型及晶圓盒裝卸型系統可滿足R&D及量產客戶的需求.
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紫外光臭氧清洗機 UV-1
精簡桌上型系列
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紫外光臭氧清洗機 UV-300H
Ashing rates >200 nm/min
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晶圓裝卸(cassette)式紫外光臭氧清洗機 UV-300HC
量產型系統
