研究開発用CCP(Capacitively Coupled Plasma: 容量結合プラズマ)型RIE装置『RIE-10NR』が、2023年７月に累計販売台数500台を達成しました。この度、500台目のRIE-10NRをご導入いただいた理化学研究所 量子電子デバイス研究チームの山本倫久チームリーダーを訪ね、当社代表取締役社長の川邊が謝意を伝え、記念品を進呈しました。

 

　RIE-10NRは、1995年12月に販売を開始して以来、国内外の大学、研究機関、企業に選ばれ続け、この度500台目の販売に至りました。シンプルでコンパクトな装置コンセプトはそのままに、安全性や使いやすさなどの面で改善を重ね、研究開発用CCP-RIE装置のデファクトスタンダード機として国内外で活躍しています。

 

　理化学研究所の量子電子デバイス研究チームでは、2次元材料デバイスの選択エッチングにRIE-10NRをご使用いただいております。記念品の進呈では山本チームリーダーより以下のお言葉を頂きました。

 

• 「グラフェンを六方晶窒化ホウ素（hBN）と呼ばれる絶縁性材料で挟み、その後グラフェンのコンタクト出しのためhBNをエッチングするのにRIE-10NRを使っています。選択エッチングができることと、それを再現性良く加工できるのがRIE-10NRを選んだ理由です。また、東京大学で私は古いRIE-10NR（1998年製）を使っていましたが、今でも他の研究室の先生がその装置を使っています。長年使ってきた壊れにくい装置なのでとても信頼しています。」

 

　RIE-10NRは、多くのお客様より「プロセスが安定していて壊れにくい」という点で高い評価をいただいております。また、同じコンセプトの反応室を備えたロードロック式装置や生産用カセット装置をラインナップしており、研究から生産まで一貫した装置提案ができることもRIE-10NRが選ばれる理由の一つです。

 

　当社は「薄膜技術で世界の産業科学に貢献する」という経営理念のもと、より良いモノづくりを継続して、世界中の大学・研究機関・企業へ、信頼性の高い装置を提供してまいります。

向かって右より2人目が理化学研究所 山本チームリーダー、3人目が当社社長 川邊 史。

 

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