サムコ株式会社は、国立大学法人 東北大学へ最先端のクラスター装置「クラスターH™」を2025年3月に納入したことを発表いたします。
今回納入したクラスター装置は、東北大学における材料科学、プロセス開発分野の研究力強化に貢献することを目的としています。本装置は、薄膜形成、エッチング、プラズマ処理、熱処理など、複数のプロセスを真空中で連続して行うことが可能であり、最先端の材料開発を効果的に行うことができます。
当社は2021年12月にクラスターH™の販売を開始し、着実に実績と経験を積んできました。クラスターH™は、先端のプラズマプロセス技術と真空搬送プラットフォームを組み合わせることで、高品質な薄膜形成や精密なエッチングを実現します。また、モジュール構成により、ユーザーのニーズに合わせて装置構成を柔軟に変更できる点も特徴です。
当社は、本装置を通して東北大学との連携を強化し、最先端の研究開発に貢献するとともに、今後も大学や研究機関との連携を推進し、最先端技術の開発に貢献してまいります。
クラスターH™の写真
＜お問い合わせ＞
サムコ株式会社
広報宣伝室 土橋 篤志
075-621-7841
