当社は、京都大学化学研究所 若宮研究室にペロブスカイト太陽電池向けALD（Atomic Layer Deposition, 原子層堆積）^※1装置を納入いたしました。
　ペロブスカイト太陽電池は、光電変換効率 ^※2の高い次世代太陽電池として期待されており、世界中で研究開発が進められています。今回納入したALD装置（型式AL-1WG）は、容積を小さくし、ガス消費を抑えた効率的な反応室構造を採用しています。また、オープンロード（反応室開閉）式の装置にグローブボックスを装備しており、大気にさらすことなく試料の出し入れが可能です。

■装置概要

型　式：AL-1WG

サイズ：1,680 mm (Ｗ)×1,433 mm (Ｄ)×2,182 mm (Ｈ)

対応試料サイズ：最大ø230 mm（ø8インチウエハ×1枚、ø4インチウエハ×3枚）

　当社は、「薄膜技術で世界の産業科学に貢献する」の経営理念の下、事業を通して持続可能な未来社会の創出に貢献します。

※1 ALD（Atomic Layer Deposition, 原子層堆積）

気相成膜技術の一つ。基板上に原料の供給と余剰原料のパージを繰り返すことで原子層一層ずつを成膜する手法。例えば、酸化膜や窒化膜の成膜において、原料ガスが表面反応により一層形成され成長が止まる自己停止機能により、一層ごとの膜形成を繰り返すLayer by layerの成膜が可能。高アスペクト比の構造への成膜や膜厚制御性に優れる。

※2 光電変換効率

光電効果による物質中の電子の状態の変化によって、光エネルギーを電気エネルギーに変換する効率のこと。太陽電池や赤外線検出器の変換効率を表す。

■お問い合わせ

サムコ株式会社 広報・IR室

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