当社は、欧州の販売拠点である子会社のsamco-ucp ltd. に、デモ用のドライエッチング装置を設置し、運用を開始しました。

欧州は、化合物半導体の研究が盛んで、ベルギーに本部を置くIMEC (Interuniversity Microelectronics Centre) やドイツのFraunhoferといった世界トップクラスの研究開発機関や大学が多数あります。また、最先端のデバイス開発を牽引する電子部品やライフサイエンス分野のメーカーが多く、重要な市場の一つです。

欧州市場を開拓し、顧客との関係を強化するため、研究用ドライエッチングのデファクトスタンダード機である『RIE-10NR』と卓上型UVオゾンクリーナー『UV-2』を子会社であるsamco-ucp ltd. に設置しました。samco-ucp ltd.は、スイスに隣接するリヒテンシュタインにあり、英国、ドイツ、フランス、イタリアなど欧州各国から容易にアクセスすることができます。『RIE-10NR』は、世界400台以上の納入実績があり、コンパクトな設計かつ低価格で、最大200 mmウエハまで均一性よく加工できます。電極間隔を変えることも可能で、プロセスウィンドウの広い研究開発に最適なドライエッチング装置です。さらに、同じコンセプトの反応室を持つ生産用装置をラインナップしており、研究から生産のお客様までご活用いただけます。RIE-10NRは欠陥解析やウイルス検出デバイスなど幅広いアプリケーションにご使用いただいています。

今回のデモ機の設置により、欧州のお客様に当社の製品に触れていただき、様々なサンプルやプロセス条件をお試しいただけます。デモ機を活用していくことで、欧州でのプレゼンス向上と顧客と関係を構築し、装置の拡販を進めてまいります。