当社のAqua Plasma®クリーナーは、電子デバイス産業新聞が選定する『半導体オブ・ザ・イヤー2018』の半導体製造装置部門の優秀賞を受賞しました。去る2018年6月6日（水）、東京ビッグサイトの電子機器トータルソリューション展（JPCA Show）の会場内で開催されました表彰式において、表彰状とトロフィーを授与されました。

　半導体オブ・ザ・イヤーは、我が国にとってますます重要性を増している最先端のIT機器・産業を支える半導体製品・技術を表彰することで、業界の技術および市場のさらなる発展に寄与することを目的として1994年に創設され、本年で第24回目を迎えました。

　当社は創業以来、製品コンセプトとしてEHS（環境負荷・健康衛生・安全性）を重視しており、その実用例として液体ソースCVD®装置などの革新的な製品づくりで大きな共感を得てまいりました。今回のAqua Plasma®クリーナーは水素や可燃性ガスを用いず、水蒸気を用いて半導体電極の洗浄や金属酸化膜の還元処理、さらにはヘルスケアチップの常温接合を実現する画期的な装置として高く評価され、優秀賞を受賞いたしました。

授与されたトロフィー