教授は、台湾の半導体産業の特長を『一般的なバルクマイクロマシンではなく、サーフェイスマイクロマシンを中心に開発を行っている。背景には、MEMS開発に台湾のIC製造のファウンドリーを使うという国家戦略がある。』とし、台湾がMEMS製造においてデファクトスタンダードになる可能性に言及されました。
続いて台湾におけるMEMS開発の産学連携のネットワーク、台湾の表面MEMSで使われる技術を紹介いただき、最後に日本のMEMS開発の台湾に対する優位性をご指摘いただきました。その後に設けられた質疑応答では更に詳細な台湾のMEMS開発動向、エッチングプロセスなどの質問が相次ぎ活発な議論が交わされました。
当社は2006年5月より、MEMS用高速シリコンディープエッチング装置RIE-800iPBの市場投入を行っており、今後更にこの分野の市場開拓を行って参ります。
東京大学 年吉教授による講演会の様子