ニュースリリース

2009年

2009年05月21日

LED製造の一貫製造ライン「One Stop Solution for LED」を提供

 当社はLEDの製造で使用される成膜技術、加工技術、洗浄技術を中心に一貫製造ライン「One Stop Solution」の提供を開始します。LED製造において一貫したプロセス提案ができるのは当社のみで、半導体で一般的に使用されているシリコン以外の"化合物半導体"のプロセスを30年にわたり扱ってきた当社の強みです。
 LEDは、省電力、長寿命、小型が特徴で、携帯電話や液晶パソコン、薄型テレビのバックライト、自動車用の照明器具などに広く利用され、今後も家庭用の一般照明としても急速な需要の拡大が見込まれています。 090521_OSS.jpg  LEDの製造工程には基板形成、エッチング、保護膜形成、パッケージングなどがあり、それぞれの工程専用に装置が必要となります。当社はこれまでの事業の3本柱である、エッチング(微細加工)装置、CVD(薄膜形成)装置、洗浄装置に加え、2008年に市場に再び投入したMOCVD(結晶成長)装置によりLEDの製造工程の主要工程すべてのプロセスを自社製装置で提供できる一貫生産体制「One Stop Solution」を確立しました。
 MOCVD装置は1981年に国産として初めて発売し、1987年までほぼ毎年、新製品を開発市場投入してきたという実績を持っています。近年の台湾、中国を中心としたアジア市場における需要の高まりを受けて、15年ぶりのMOCVD装置市場再参入を決めたものです。これによりLED製造の最初の工程であるエピタキショル成長からデバイス加工のすべてをまかなうトータルソリューションの提供が可能になりました。
 当社は1979年の設立以来「薄膜技術で世界の産業科学に貢献する」を企業理念とし世界中の研究者や産業に3200台以上の信頼性の高いシステムを納入してまいりました。設立30周年を迎えLED一貫製造技術を社会に提供することにより、オプトエレクトロニクス分野、環境分野などの発展に貢献してまいります。