会　期：2019年3月20日（水）～22日（金）
会　場：Shanghai New International Expo Centre, China
リンク：SEMICON China 公式サイト

　来る3月20日から22日までの3日間、上海新国際博覧中心（SNIEC）において半導体サプライチェーンの展示会「SEMICON China 2019」が開催されます。来場者は7万人を超えることが予想され、今や世界最大の半導体関連のイベントとなっています。
　当社は、出展小間数を拡大し、新製品の次世代ICPエッチング装置『RIE-200iPN』や、ALD装置、プラズマCVD装置、ドライ洗浄装置を展示します。アプリケーションでは、生産量が増加し市場が拡大しているSiCパワーデバイスやGaAs VCSEL用の最新ソリューション、GaN縦型パワーデバイスやマイクロLEDなど次世代デバイス向けのデータを紹介します。また、新分野開拓のフラッグシップとなるプラズマクリーナー『AQ-2000』では、異種材料接合技術のフレキシブルデバイスへの応用を提案します。
　SEMICON Chinaは、AIやIoTを支える基盤となる最新デバイスの情報を得る最高の機会です。皆様のご来場をお待ちしております。

当社ブースのイメージ図