会期:2018年7月10日(火)~12日(木)
会場:Moscone Center, San Francisco, CA, USA
ブース:1013
来る7月10日から12日までの3日間、『SEMICON West 2018』が"BEYOND SMART"をテーマに米国サンフランシスコのモスコーニセンターで開催されます。
当社は、各種MEMSデバイスの製造に必須となるシリコン深掘り・圧電材料のプラズマエッチング・低応力窒化膜のPECVD技術を中心に、GaAs VCSEL(面発光レーザ)やInPレーザ用の化合物半導体材料のプラズマエッチング技術、当社独自のAqua PlasmaⓇクリーナーによる金属酸化膜の還元処理などを紹介します。