会　　　　期：2017年7月11日（火）～13日（木）
会　　　　場：Moscone Center, San Francisco, CA, USA
ブースNo. ：7809

　来る7月11日から13日までの3日間、『SEMICON West 2017』が米国サンフランシスコのモスコーニセンターで開催されます。今回は、"SMART STARTS HERE"をテーマにIoT（Internet of Things）時代の本格的な到来に向けた半導体デバイス作製技術に関する各種セッションや展示が行われます。

　当社は、各種MEMSデバイス（自動車用途各種センサ・高周波センサ・マイクロフォン・マイクロスピーカー・BAW / SAWデバイス）の製造に必須となるシリコン深掘・圧電材料（PZT / AlN）のプラズマエッチング・窒化膜の低応力PECVD技術を中心にご紹介します。さらに、フレキシブルデバイスの製造に用いられる酸化膜・窒化膜の低温PECVD技術、5G通信デバイスの製造に用いられる化合物半導体材料のプラズマエッチング技術、ワイヤボンディング前の表面洗浄処理技術（プラズマ・UVオゾン）に関する紹介も行います。