会 期:2016年4月17日(日)-20日(水)
会 場:エル・パーク仙台、ホテル松島大観荘
IEEE-NEMS 2016が来る4月17日から20日まで、仙台で開催されます。
本会議は、最先端のMEMS(微小電気機械素子)やナノテクノロジーに関する国際会議で、当社は4月18日(月)と19日(火)にホテル松島大観荘で開催されます併設展示会にブースを出展致します。
当社は、MEMS加工用高速シリコンディープエッチング装置『RIE-800iPB』、TEOS-SiO2膜形成用プラズマCVD装置『PD-100ST』とともに、昨年販売を開始したALD(Atomic Layer Deposition: 原子層堆積)装置『AL-1』を最新の技術データとともに展示致します。