来る7月11日から13日までの3日間、マイクロ・ナノ技術の基礎研究から応用、デバイスの開発製造を担う研究者、およびデバイスのユーザーであるメーカーの開発者が世界規模で一堂に会する『マイクロマシン/MEMS展』が開催されます。
MEMSは、スマートフォンや自動車用途での需要の拡大のほか、医療・バイオなどの新規分野への採用が進んでおり、市場拡大が予想されております。本展示会はMEMSに関する最新動向やマーケティング情報を発見する絶好の機会となります。また、サービスロボットの製造技術に関する見本市『第3回ROBOTECH次世代ロボット製造技術展』も併設され、盛況になることが予想されます。
当社は、業界をリードする研究開発用高性能MEMSエッチング装置『RIE-400iPB』や、量産機能を有する『RIE-800iPB』、3次元LSIプロセスへの応用で高く評価されているTEOS-SiO2膜形成用プラズマCVD装置『PD-330STC』を最新の技術データとともに紹介いたします。
皆様のご来場をお待ちしております。
第22回マイクロマシン/MEMS展の様子