論文
ø100nmナノポアの作製
平行平板型RIE装置Model: RIE-10NRにより、SiN膜を垂直に形状よく加工し、ø100nmのナノポアを作製しています。
生体分子がナノポアを通過する時のイオン電流を解読することで、細菌やウイルスを検出することができます。ナノポアデバイスが実現すれば、空港や駅など人が集まるところで、簡単な検査でウイルスや細菌がどれくらい広がっているか調べることが可能になり、その拡散を未然に防ぐといったことが期待されます。
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製品情報ナノポアデバイスの作製
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