Siゴム製μTASのマスター製作
《理化学研究所 バイオ工学研究室 ご提供》
Micro-TAS(Micro-Total Analysis Systems:μ-TAS)とは、DNAやたんぱく質などを流して解析を行うために、マイクロ化技術を利用し直接または鋳型を作り、ガラスやプラスチックの基板に流路を形成したもので、分子生物学の研究・検査で使われる様々な機器を1枚のチップの上に集積させたものです。写真は、Siチップにフォトレジスト(PR)の構造物を取り付けたもので、これをマスターとしてSiゴムに転写することでSiゴム製μTASができます。ここでは、μTASのチャネルを形成するために平行平板型RIE装置によりマスターとなるSiチップに幅、深さともに2～5μmの溝を加工しました。
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