製品情報Si、Poly-Si、SiNのエッチング

ナノポアデバイスの作製

《大阪大学　谷口研究室　ご提供》 平行平板型RIE…

ナノインプリントモールド

《理化学研究所　ご提供》 回折格子などの光学デバイ…

Poly-Siの20nm幅加工

《電子技術総合研究所　電子デバイス部　ご提供》 ロ…

FED用エミッタチップ

《産業技術総合研究所　つくばセンター　ご提供》 ロ…

マイクロタス(Micro-TAS)

《理化学研究所　バイオ工学研究室　ご提供》 Mic…

欠陥解析

平行平板型RIE装置による5層Al配線を露出する欠…

ｼﾘｶﾄﾛｲﾄﾞ微小光共振器

《慶應義塾大学　田邊フォトニック構造研究室　ご提供…

パリレンの可動体

《関西大学　青柳研究室　ご提供》 フッ化キセノン(…

螺旋状の構造体

MEMSの微細加工時のSi犠牲層エッチングは、従来…