インプリント用の型の作製

研究開発用装置RIE-400iPBにより、幅5 μmのライン&スペースパターンの石英ガラスの加工。深さは6 μm。Crマスクが加工時に後退したため、順テーパー形状となっています。Crマスクに対する選択比は100：1程度。


《ご提供》

山形県工業技術センター様

プラスチックス 2018年12月号より引用

使用している製品

RIE-400iPB

技術資料

　　　　　　

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