生体分子分離/検出技術への応用

成分の分離状態を維持しつつ高い混合特性を有するピラーアレイミキサーの作製。分離流路の下流側に接続することで、分離流路で分離された成分毎に処理液と混合する試料処理装置です。
シリコン深掘り装置RIE-400iPBによるボッシュプロセスの加工により精度良くピラーを形成しています。


《ご提供》

早稲田大学 庄子研究室

使用している製品

RIE-800iPB

RIE-800BCT

RIE-400iPB

技術資料

論文

　　　　　　

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