論文
液体原料SN-2によるSiNxの成膜
リング半径が100 μmと小型にも関わらず、2.4 x 10⁵ という高いQ値のリング共振器を作製しています。
SiNxは石英と比較して2.0程度の高屈折率が得られますが、SiとNの比率によって屈折率は大きく変化するため制御が困難です。
液体ソースCVD®装置Model: PD-100STを用いて屈折率1.99と理想的な屈折率を持つSiNx膜を成膜しています。さらに、SiNx 異方性エッチングにICPエッチング装置Model: RIE-400iPを使用しています。
小径の高Q値SiNxリング共振器は、フィルターとして光取り出し効率向上が期待されています。
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