UVオゾンクリーナー｜サムコ株式会社

サムコで取り扱っている
UVオゾンクリーナー

「紫外線照射」、「高濃度オゾン」、「ステージヒーターによる熱」の相互作用で、シリコンウエハなどの基板や電極のクリーニングを行う、各種半導体、電子デバイス製造のためのドライ洗浄装置です。

低圧水銀ランプによる紫外線照射と高濃度オゾンとステージヒーターによる熱の相互作用で、シリコンウエハや電極のクリーニングなどを行う、各種半導体プロセスのためのドライ洗浄装置です。