製品情報プラズマクリーナー PC-300

本装置は半導体実装基板、光学部品、バイオ・医療用製品のドライ洗浄、表面改質に適した平行平板型プラズマクリーナーです。RIE（反応性イオンエッチング）、PE（プラズマエッチング）の2種類の処理モードを切り替えできるため、基板の種類、形状、目的に応じた最適な処理を行うことができます。コンパクトで設置する場所を選びません。

• 処理モード（RIE、PE）を切り替えできるため、基板の種類に応じた最適な処理が可能です。
• 処理モードは電極棚を反転させることで、容易に切り替えられます。
• 各種インターロックと異常検知機能を備え、安全に運用できます。
• タッチパネル操作による自動運転およびプロセスレシピの保存（最大 100レシピ）が可能です。
• ユーザーレベルと運転モードの切り替え機能があります。

• BGA、CSPなどのプラスチックパッケージ、リードフレームの洗浄、表面改質
• 光学部品、金型の親水化
• LEDパッケージにおける銀の酸化防止
• ⌀8インチウエハまでのフォトレジストのアッシング
• DLC膜除去による金型の再生
• マイクロ流路、細胞培養シャーレなどの表面改質・親水化

• 電極棚の追加（RIEモードで最大 2段処理が可能）
• 石英カバー（金属汚染の防止）
• データロギング機構（PC付き）
• スロー排気・スローベントバルブ