Aqua Plasma® クリーナー AQ-500
還元に、接合に、水が効く。画期的プラズマ処理装置。

概要

本装置は、主に水蒸気(H₂O)を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、樹脂接合、超親水化などの表面処理を、安全で環境に優しく行うことができます。ドライポンプを筐体内に備えるコンパクトな設計で設置する場所を選びません。また、レシピ管理やユーザーレベルの切り替え機能を備えており、研究から少量生産まで幅広い用途でご使用いただけます。

特長

  • 金属酸化膜の安全な還元と有機物の洗浄を実現
  • 樹脂の常温接合と超親水化
  • オールインワンによる省フットプリント(500 mm (W) x 650 mm (D))
  • 水蒸気生成ユニットのワンタッチ起動

応用例

  • 銀電極の表面還元、改質、洗浄
  • 銅電極の表面還元、改質、洗浄
  • 樹脂、ガラスの常温接合（接着剤レス）、マイクロ流体チップ用途
  • 樹脂の表面改質、超親水化

オプション

  • 酸素（O₂）の添加により洗浄速度を高速化

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