サムコで取り扱っている
Aqua Plasma®
Aqua Plasma® クリーナーは主に水蒸気(H2O)を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、樹脂接合、超親水化などの表面処理を、安全で環境に優しく行うことができます。
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Aqua Plasma® クリーナー AQ-500
省スペースモデル
研究開発から少量生産まで
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Aqua Plasma® クリーナー AQ-2000
大面積基板モデル
半導体・オブ・ザ・イヤー2018 受賞