Aqua Plasma®
Aqua Plasma® クリーナーは主に水蒸気（H2O）を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、樹脂接合、超親水化などの表面処理を、安全で環境に優しく行うことができます。
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Aqua Plasma® クリーナー AQ-500
省スペースモデル
研究開発から少量生産まで
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Aqua Plasma® クリーナー AQ-2000
大面積基板モデル
半導体・オブ・ザ・イヤー2018 受賞
プラズマクリーナー
各種半導体、電子デバイス表面のクリーニングや改質、レジストのアッシングなどを目的とした平行平板型プラズマクリーナーです。
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プラズマクリーナー PC-1100
A3サイズ基板対応
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プラズマクリーナー PC-300
コンパクトな平行平板型装置
UVオゾンクリーナー
「紫外線照射」、「高濃度オゾン」、「ステージヒーターによる熱」の相互作用で、シリコンウエハなどの基板や電極のクリーニングを行う、各種半導体、電子デバイス製造のためのドライ洗浄装置です。
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UVオゾンクリーナー UV-1
ø4"対応のコンパクト装置
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UVオゾンクリーナー UV-300H
高速アッシング装置
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UVオゾンクリーナー UV-300HC
量産用カセット装置
