半導体製造装置に関する言葉や知識を、初めての方でも理解できるよう分かりやすくご紹介します。

半導体に関する基礎知識

半導体とは

半導体製造装置

装置について

真空とは

プラズマとは

サムコで製造している半導体製造装置をご覧いただけます。